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评价信息：
影响因子：1.5
年发文量：197
《真空科学与技术学报B》(Journal Of Vacuum Science & Technology B)是一本以工程技术-工程：电子与电气综合研究为特色的国际期刊。该刊由A V S AMER INST PHYSICS出版商创刊于1991年，刊期Bimonthly。该刊已被国际重要权威数据库SCIE收录。期刊聚焦工程技术-工程：电子与电气领域的重点研究和前沿进展，及时刊载和报道该领域的研究成果，致力于成为该领域同行进行快速学术交流的信息窗口与平台。该刊2023年影响因子为1.5。
Journal of Vacuum Science & Technology B emphasizes processing, measurement and phenomena associated with micrometer and nanometer structures and devices. Processing may include vacuum processing, plasma processing and microlithography among others, while measurement refers to a wide range of materials and device characterization methods for understanding the physics and chemistry of submicron and nanometer structures and devices.
《真空科学与技术杂志 B》侧重于微米和纳米结构及设备相关的加工、测量和现象。加工可能包括真空加工、等离子加工和微光刻等，而测量则涉及各种材料和设备表征方法，用于了解亚微米和纳米结构及设备的物理和化学性质。
《Journal Of Vacuum Science & Technology B》(真空科学与技术学报B)编辑部通讯方式为A V S AMER INST PHYSICS, STE 1 NO 1, 2 HUNTINGTON QUADRANGLE, MELVILLE, USA, NY, 11747-4502。如果您需要协助投稿或润稿服务，您可以咨询我们的客服老师。我们专注于期刊投稿服务十年，熟悉发表政策，可为您提供一对一投稿指导，避免您在投稿时频繁碰壁，节省您的宝贵时间，有效提升发表机率，确保SCI检索（检索不了全额退款）。我们视信誉为生命，多方面确保文章安全保密，在任何情况下都不会泄露您的个人信息或稿件内容。
2023年12月升级版
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 | 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
2021年12月旧的升级版
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 | 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
2021年12月基础版
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 | 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
2021年12月升级版
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 | 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
2020年12月旧的升级版
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 | 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
基础版：即2019年12月17日，正式发布的《2019年中国科学院文献情报中心期刊分区表》；将JCR中所有期刊分为13个大类,期刊范围只有SCI期刊。
升级版：即2020年1月13日，正式发布的《2019年中国科学院文献情报中心期刊分区表升级版（试行）》,升级版采用了改进后的指标方法体系对基础版的延续和改进，影响因子不再是分区的唯一或者决定性因素，也没有了分区的IF阈值期刊由基础版的13个学科扩展至18个，科研评价将更加明确。期刊范围有SCI期刊、SSCI期刊。从2022年开始，分区表将只发布升级版结果，不再有基础版和升级版之分,基础版和升级版（试行）将过渡共存三年时间。
JCR分区等级：Q3
| 按JIF指标学科分区 | 收录子集 | 分区 | 排名 | 百分位 |
| 学科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | SCIE | Q3 | 252 / 352 |
28.6% |
| 学科：NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY | SCIE | Q4 | 115 / 140 |
18.2% |
| 学科：PHYSICS, APPLIED | SCIE | Q3 | 134 / 179 |
25.4% |
| 按JCI指标学科分区 | 收录子集 | 分区 | 排名 | 百分位 |
| 学科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | SCIE | Q4 | 278 / 354 |
21.61% |
| 学科：NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY | SCIE | Q4 | 115 / 140 |
18.21% |
| 学科：PHYSICS, APPLIED | SCIE | Q4 | 145 / 179 |
19.27% |
| Gold OA文章占比 | 研究类文章占比 | 文章自引率 |
| 16.37% | 96.45% | 0.14... |
| 开源占比 | 出版国人文章占比 | OA被引用占比 |
| 0.22... | -- | 0.12... |
名词解释：JCR分区在学术期刊评价、科研成果展示、科研方向引导以及学术交流与合作等方面都具有重要的价值。通过对期刊影响因子的精确计算和细致划分，JCR分区能够清晰地反映出不同期刊在同一学科领域内的相对位置，从而帮助科研人员准确识别出高质量的学术期刊。
历年中科院分区趋势图
历年IF值(影响因子)
历年引文指标和发文量
历年自引数据
2019-2021年文章引用数据
| 文章引用名称 | 引用次数 |
| Review Article: Synthesis, properties, a... | 21 |
| Review Article: Atomic layer deposition ... | 14 |
| Tutorial on interpreting x-ray photoelec... | 9 |
| Future prospects of fluoride based upcon... | 7 |
| Realizing ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 wit... | 7 |
| High-density energy storage in Si-doped ... | 6 |
| Minimal domain size necessary to simulat... | 6 |
| Direct metal etch of ruthenium for advan... | 6 |
| Reduced twinning and surface roughness o... | 6 |
| Atomic force microscope integrated with ... | 6 |
2019-2021年文章被引用数据
| 被引用期刊名称 | 数量 |
| JPN J APPL PHYS | 267 |
| J APPL PHYS | 249 |
| J VAC SCI TECHNOL B | 201 |
| APPL SURF SCI | 152 |
| J VAC SCI TECHNOL A | 141 |
| ACS APPL MATER INTER | 126 |
| NANOTECHNOLOGY | 121 |
| APPL PHYS LETT | 112 |
| ECS J SOLID STATE SC | 105 |
| MATER RES EXPRESS | 94 |
2019-2021年引用数据
| 引用期刊名称 | 数量 |
| APPL PHYS LETT | 314 |
| J VAC SCI TECHNOL B | 201 |
| J APPL PHYS | 198 |
| PHYS REV B | 108 |
| J VAC SCI TECHNOL A | 80 |
| NANO LETT | 77 |
| THIN SOLID FILMS | 66 |
| APPL SURF SCI | 62 |
| MICROELECTRON ENG | 62 |
| NANOTECHNOLOGY | 62 |
中科院分区：1区
影响因子：8.1
审稿周期：约Time to first decision: 6 days; Review time: 44 days; Submission to acceptance: 54 days; 约4.1个月 约6.8周
中科院分区：1区
影响因子：7.7
审稿周期：约Time to first decision: 9 days; Review time: 64 days; Submission to acceptance: 82 days; 约2.7个月 约7.8周
中科院分区：3区
影响因子：3.3
审稿周期：约17.72天 11 Weeks
中科院分区：2区
影响因子：5.1
审稿周期： 约1.9个月 约2.7周
中科院分区：2区
影响因子：5.8
审稿周期： 约2.4个月 约7.6周
中科院分区：2区
影响因子：4.4
审稿周期： 14 Weeks
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