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《微纳光刻技术杂志》(Journal Of Micro-nanolithography Mems And Moems)是一本以ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC-NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY综合研究为特色的国际期刊。该刊由SPIE出版商创刊于2007年，刊期Quarterly。该刊已被国际重要权威数据库SCIE收录。期刊聚焦ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC-NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY领域的重点研究和前沿进展，及时刊载和报道该领域的研究成果，致力于成为该领域同行进行快速学术交流的信息窗口与平台。该刊2023年影响因子为0。CiteScore指数值为3.4。
The Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS (JM3) publishes peer-reviewed papers on the science, development, and practice of lithographic, fabrication, packaging, and integration technologies necessary to address the needs of the electronics, microelectromechanical systems, micro-optoelectromechanical systems, and photonics industries.
《微/纳米光刻、MEMS 和 MOEMS 杂志》（JM3）发表同行评审的论文，内容涉及光刻、制造、封装和集成技术的科学、开发和实践，这些技术对于满足电子、微机电系统、微光机电系统和光子学行业的需求必不可少。
《Journal Of Micro-nanolithography Mems And Moems》(微纳光刻技术杂志)编辑部通讯方式为SPIE-SOC PHOTOPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS, 1000 20TH ST, PO BOX 10, BELLINGHAM, USA, WA, 98225。如果您需要协助投稿或润稿服务，您可以咨询我们的客服老师。我们专注于期刊投稿服务十年，熟悉发表政策，可为您提供一对一投稿指导，避免您在投稿时频繁碰壁，节省您的宝贵时间，有效提升发表机率，确保SCI检索（检索不了全额退款）。我们视信誉为生命，多方面确保文章安全保密，在任何情况下都不会泄露您的个人信息或稿件内容。
2023年12月升级版
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 物理与天体物理 | 2区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科学：综合 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 OPTICS 光学 | 3区 3区 3区 3区 | 否 | 否 |
2022年12月升级版
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 物理与天体物理 | 3区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科学：综合 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 OPTICS 光学 | 4区 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
2021年12月旧的升级版
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科学：综合 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 OPTICS 光学 | 4区 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
2021年12月基础版
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科学：综合 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 OPTICS 光学 | 4区 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
2021年12月升级版
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科学：综合 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 OPTICS 光学 | 4区 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
2020年12月旧的升级版
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 3区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科学：综合 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 OPTICS 光学 | 4区 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
基础版：即2019年12月17日，正式发布的《2019年中国科学院文献情报中心期刊分区表》；将JCR中所有期刊分为13个大类,期刊范围只有SCI期刊。
升级版：即2020年1月13日，正式发布的《2019年中国科学院文献情报中心期刊分区表升级版（试行）》,升级版采用了改进后的指标方法体系对基础版的延续和改进，影响因子不再是分区的唯一或者决定性因素，也没有了分区的IF阈值期刊由基础版的13个学科扩展至18个，科研评价将更加明确。期刊范围有SCI期刊、SSCI期刊。从2022年开始，分区表将只发布升级版结果，不再有基础版和升级版之分,基础版和升级版（试行）将过渡共存三年时间。
JCR分区等级：Q3
| 按JIF指标学科分区 | 收录子集 | 分区 | 排名 | 百分位 |
| 学科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | SCIE | Q3 | 187 / 275 |
32.2% |
| 学科：MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY | SCIE | Q3 | 255 / 342 |
25.6% |
| 学科：NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY | SCIE | Q4 | 91 / 107 |
15.4% |
| 学科：OPTICS | SCIE | Q3 | 68 / 100 |
32.5% |
| Gold OA文章占比 | 研究类文章占比 | 文章自引率 |
| 7.69% | 0.00% | -- |
| 开源占比 | 出版国人文章占比 | OA被引用占比 |
| 0.07... | -- | -- |
名词解释：JCR分区在学术期刊评价、科研成果展示、科研方向引导以及学术交流与合作等方面都具有重要的价值。通过对期刊影响因子的精确计算和细致划分，JCR分区能够清晰地反映出不同期刊在同一学科领域内的相对位置，从而帮助科研人员准确识别出高质量的学术期刊。
| CiteScore | SJR | SNIP | CiteScore 指数 | ||||||||||||||||||||||||
| 3.4 | 0.393 | 1.723 |
|
名词解释：CiteScore是基于Scopus数据库的全新期刊评价体系。CiteScore 2021 的计算方式是期刊最近4年（含计算年度）的被引次数除以该期刊近四年发表的文献数。CiteScore基于全球最广泛的摘要和引文数据库Scopus，适用于所有连续出版物，而不仅仅是期刊。目前CiteScore 收录了超过 26000 种期刊，比获得影响因子的期刊多13000种。被各界人士认为是影响因子最有力的竞争对手。
历年中科院分区趋势图
历年IF值(影响因子)
历年引文指标和发文量
历年自引数据
中科院分区：1区
影响因子：7.7
审稿周期：约Time to first decision: 9 days; Review time: 64 days; Submission to acceptance: 82 days; 约2.7个月 约7.8周
中科院分区：1区
影响因子：8.1
审稿周期：约Time to first decision: 6 days; Review time: 44 days; Submission to acceptance: 54 days; 约4.1个月 约6.8周
中科院分区：3区
影响因子：3.3
审稿周期：约17.72天 11 Weeks
中科院分区：2区
影响因子：5.8
审稿周期： 约2.4个月 约7.6周
中科院分区：2区
影响因子：5.1
审稿周期： 约1.9个月 约2.7周
中科院分区：1区
影响因子：98.4
审稿周期： 约3月
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