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微细加工技术杂志

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微细加工技术杂志 统计源期刊

Microfabrication Technology
主要栏目:

综述电子束技术离子束技术光子束技术薄膜技术微机械加工技术纳米技术

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微细加工技术杂志简介预计审稿时间:3-6个月

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杂志简介:

微细加工技术杂志(双月刊)知识丰富,内容广泛,贴近大众,自1983年创刊以来广受好评,注重视角的宏观性、全局性和指导性,在业界形成了一定影响和良好口碑。

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文章摘录

CVD金刚石膜表面图形化加工技术的研究

Fe膜及磁场沉积对TbDy—Fe膜磁伸性能的影响

Li3V2(PO4)3/C复合正极材料的合成及电化学性能

一种封装后释放的准LIGA加工工艺研究

一种内埋式电容器用钛酸钡/环氧复合材料的研制

基于自抗扰控制器的6-DOF磁悬浮平台悬浮高度控制

计算机硬盘NiP基板CMP机理及技术研究

用于自适应红外焦平面探测器的液晶微透镜阵列

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